微电子类洁净室的特殊工艺
日期:2015/10/21 17:19:12
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类型:净化技术常识
电子类洁净室的特殊工艺,特殊在安装材料、设备,给防火疏散造成困难。
1、厂房洁净室内大量存在特殊的板材设备。洁净室是个相对密闭空间,有的还是无窗密闭体。这样的密闭空间一旦有灾情发生,洁净室里的热量难于散发,产生大量烟气,给人员疏散和消防队的扑救造成较大困难,这也是其特殊点。
2、洁净室厂房对工艺加工设备精度和自动化程度要求很高,也是其特殊的一点。因而厂房以及生产设备投资十分昂贵,一旦发生灾情,会造成严重的经济损失。
3、微电子类洁净室的特殊工艺在于操作工艺大多需使用易燃、易爆液体或气体。这就可能造成一旦有液体或气体泄漏,引发火灾、爆炸可能性较大。
4、通常洁净室的电气设备较多,线路大多设为暗敷,维修人员检修比较困难,会造成有故障及火灾时不易发现或及时发现。
5、厂房洁净室内有许多管道,如通风管、电缆管,跨楼层相通,若有灾情,会顺着管道迅速蔓延。
6、洁净室内的走廊、通道管,由于生产工艺的特殊要求,维持洁净度,都布置得迂回曲折,人员疏散困难。
7、因工艺需要,洁净室内装修使用了一些高分子合成材料,这些材料在燃烧时产生浓烟,散发毒气,有的燃烧速度极快,做好相应的隔离措施显得非常有必要。