在洁净室设计过程中,洁净室的气流速度或换气次数是你关注的吗?你关注洁净室哪些问题呢?其实洁净室设计中一直受到关注的问题确实是气流速度或换气次数。洁净室内一定洁净度下气流速度的确定,根据洁净室用途等具体情况而有不同,除了受到洁净室内发尘量及过滤器效率还受其他因素影响。
洁净室设计中什么影响了洁净度及选择气流速度呢?有那个几个主要因素:(1)洁净室内建筑物组件、人员数量及操作活动、工艺设备、工艺材料及工艺加工本身等都是尘粒释放源,这些污染源不同具体情况变化很大;(2)洁净室室内气流流型及分布不同,受到的影响不同。洁净室是单向流的,要求均匀、平等的流线,但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流;而非单向流要求充混合,洁净室内避免死角及温度分层;(3)洁净室自净恢复时间的控制要求:洁净室中事故释放、带入污染物,空气气流的中断,正常操作时的间歇性对流气流或人及设备的移动等都会造成洁净度的下降,这时恢复到原来洁净度的自净时间决定于洁净室气流速度;对自净时间的控制要求取决于此时间框架内(恶化的洁净度下),对产品生产的质量及成品率影响的承受能力;(4)洁净室末级过滤器的效率:在一定的洁净室室内发尘量下,采用较高效率的过滤器以降低气流速度;为节能应考虑采用较高效率的过滤器,并降低气流速度,或采用较低效率的过滤器并采用较高的气流速度,力求流量与阻力的乘积最小;(5)出于经济性考虑:过大的气流速度造成投资及运行费用的增加。洁净室合适的气流速度为以上诸因素合理的综合,过大往往不必要,亦不一定有效果;(6)对洁净度要求低的洁净室,有时换气次数决定于室内排热的要求。
在洁净室工程应用中,对洁净室的气流速度往往参照有关规范、导则等,再根据具体情况估计以上各影响因素进行综合考虑后才能确定。