无尘车间的洁净度往往受到气流的影响,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃的移动、扩散会受到气流的支配。广州无尘车间是利用HEPA(高效过滤器)、ULPA(超高效过滤器)过滤空气,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,因此经过这两种过滤器过滤的空气可以说是十分干净了。然而无尘车间内除了人以外,还有机器等发尘源,这些尘埃一旦扩散,就无法保持无尘的空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
无尘车间内的气流是左右洁净室性能的重要因素,一般无尘车间的气流速度是选0.25~0.5m/s之间,此气流速度属微风区域,易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高,将影响运转成本的增加,所以应在满足要求的洁净度水准之时,能以最适当的风速供应,以达到适当的风速供应以达到经济性效果。
垂直层流式方向要保持均一气流必须:(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,目前一般的广州无尘车间,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
影响无尘车间的气流因素很多,如制程设备、人员、无尘车间组装材料、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于无尘空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部份的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因此将会受到污染,产品合格率也会降低。
广州无尘车间内的工作台等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近的洁净度将会较差,在工作台面钻上回风孔,将使涡流现象减少最低;组装材料的选择是否恰当、设备布局是否完善,也是气流是否成为涡流现象的重要因素。